1. 产品定位
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型号特殊性:".5H"后缀通常表示该型号为 高精度改良版,在基础CFD-500系列上优化了成膜均匀性
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行业应用:半导体设备部件/医疗器械金属件等 超高洁净度要求 领域
2. 化学特性
项目 参数 基础油类型 全合成酯类(生物降解率>80%) 添加剂体系 不含亚硝酸盐/磷酸盐 pH值(稀释后) 7.2±0.5(中性温和配方) 电导率 <5μS/cm(不影响电子元件) 3. 特殊工艺适配性
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真空环境适用:饱和蒸气压<0.1Pa(20℃)
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激光焊接兼容:油膜在1064nm波长下透光率>92%
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二次加工性:可直接进行PVD镀膜处理(附着力达ASTM D3359 4B级)
4. 应用案例
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晶圆载具:防止铝合金氧化导致的微粒脱落
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手术器械:高温灭菌后的即时防锈保护
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光刻机部件:铜合金导轨的长期储存防护
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