产品中心

基础组成

• 成分：高纯直链全氟聚醚 PFPE，无 PTFE 稠化剂，纯液态氟油
• 外观：无色透明粘稠液体
• 类型：真空专用 PFPE 润滑油，无闪点、不可燃，超低释气、极低饱和蒸气压

关键技术参数

• 使用温度：‑35 ℃ ~ +280 ℃，短时峰值 300℃
• 40℃运动粘度：≈2400 mm²/s（高于 9704 的 1200 mm²/s）
• 密度（20℃）：≈1.82 g/cm³
• 倾点：‑35℃
• 饱和蒸气压：极低，高真空环境挥发损失小，抑制返油油雾
• 特性：热氧化稳定性优异；化学惰性极强，耐受强酸、强碱、强氧化剂、富氧工艺气体；不裂解、不结焦积碳；兼容不锈钢、碳钢、氟橡胶；对多数工程塑料友好；真空环境低出气，减少腔体污染

核心优势

1. 高粘度强油膜：粘度更高，重载低速摩擦副形成厚而稳定油膜，适合真空下承受载荷的轴承、转轴，抗磨损更好
2. 更低油雾返流：高粘度特性进一步抑制真空腔体油雾返流，减少晶圆、光学镜片、工件污染，降低腔体清洗频次
3. 极端化学耐受：可接触腐蚀性工艺气体、氧气、强氧化介质，油品不分解
4. 宽温域性能：‑35℃低温可流动，高温 280℃不易热裂解，使用寿命长
5. 可作为高粘度 PFPE 基础油，调配高粘度 PTFE 分散液、定制全氟聚醚润滑脂

典型应用场景

1. 半导体设备：高真空腔体重载低速转轴、阀门、密封机构、防腐真空泵
2. 光学镀膜、溅射设备，要求抑制油雾返流的运动部件
3. 化工强腐蚀、富氧工况真空泵、泵体轴承、密封
4. 科研高真空装置、电子束设备重载摩擦副
5. 用作基础原料，复配高粘度 PFPE 润滑脂、PTFE 溶剂分散液

包装与施工

• 常规包装：100ml、500ml、1L 金属密封瓶；可提供试样装
• 使用方式：滴油、刷涂、真空泵加注；不可与其它油品混兑
• 配套资料：TDS 技术数据表、MSDS 安全说明书

使用重要提示

1. 严禁与矿物油、合成油、非氟类油品混用；更换油品必须彻底清洗腔体、管路、泵腔旧介质
2. 纯液态油，不可直接当润滑脂使用；如需脂，需添加 PTFE 微粉调配
3. 密封避光储存，严防水汽、灰尘杂质进入，杂质会劣化真空性能
4. 粘度高，不适合高速循环泵；高速循环优先选用 XYC‑Fluorovac 9704