基础组成
- 成分：高纯直链全氟聚醚 PFPE，超滤除微粒处理，无稠化剂、无固体添加剂颗粒
- 外观：无色透明高粘稠液态
- 类型：真空级润滑油；无闪点、不可燃；满足 ASTM‑E595 低出气真空标准，洁净室原料等级
关键技术参数
- 使用温度：‑30 ℃ ~ +250 ℃，短时峰值 270℃
- 40℃运动粘度：≈810 mm²/s
- 密度（20℃）：≈1.91 g/cm³
- 倾点：‑30℃
- 饱和蒸气压极低，高真空工况挥发损失小；TML、CVCM 满足 ASTM‑E595 真空出气测试
- 特性：化学高度惰性；耐受刻蚀工艺气体、氧化剂；热稳定，高温不裂解不结焦；低微粒杂质；对 FKM、FFKM 氟橡胶兼容性优异；兼容不锈钢、PEEK 等金属与高分子材料。
核心优势
- 超高粘度强油膜，抑制返油：粘度远高于 5301/5361，油膜强度高，大幅抑制真空腔体油雾返流，减少晶圆、光学部件油气污染。
- 氟橡胶密封友好：专为 FKM/FFKM O 型圈、静密封预润滑开发，改善密封圈装配，降低摩擦，延缓橡胶老化，半导体真空阀门、腔体密封优选。
- 低速重载适配：适合真空下低速重载转轴，建立稳固润滑膜，抗磨损。
- 超滤洁净等级：去除微观颗粒，减少腔体颗粒污染，适配半导体刻蚀、沉积工艺设备。
- 可作为高粘度 PFPE 基础油，调配高粘度真空润滑脂、PTFE 分散液。
典型应用场景
- 半导体设备：真空腔体FKM/FFKM O 型密封圈预润滑、真空阀门、低速重载转轴、密封面（主力场景）。
- 镀膜、溅射设备，对抑制油雾返流有严苛要求的真空运动部件。
- 接触腐蚀工艺气体、氧化剂的真空泵、密封机构。
- 航天模拟舱高真空密封部件。
- 复配原料，配制高粘度真空 PFPE 润滑脂。
包装与施工
- 常规包装：100 ml、500 ml、1L 金属密封瓶；可提供试样
- 使用方式：薄涂、滴油、密封圈浸润预润滑；不可与非氟油品混用
- 配套资料：TDS 技术数据表、MSDS 安全说明书
