基础组成
- 成分：高纯直链全氟聚醚 PFPE，多级超滤除微粒，无 PTFE、无固体稠化剂，纯液态油
- 外观：无色透明粘稠液体
- 类型：超高真空级润滑油；无闪点、不可燃；满足 ASTM‑E595 NASA 航天真空出气标准，洁净室原料等级
关键技术参数
- 使用温度：‑90 ℃ ~ +250 ℃，短时峰值 270℃
- 40℃运动粘度：≈362 mm²/s；100℃≈103 mm²/s
- 倾点：‑90℃
- 密度（20℃）：≈1.83 g/cm³
- 饱和蒸气压：极低，超高真空环境挥发损失极小
- 真空出气：TML≈0.060 wt%，CVCM≈0.001 wt%，CVCM 指标表现优异FUCHS Grou...
- 特性：化学高度惰性，耐受刻蚀工艺气体、等离子、富氧环境；热稳定不裂解、不结焦；超低微粒；对 FKM/FFKM、PEEK、各类不锈钢兼容性优异。
核心优势
- 极低温 + 高粘度兼顾：‑90℃依旧保持流动性，同时粘度更高，油膜强度大，适合深冷交变温度环境下的重载摩擦副。
- 航天级极低可凝挥发物 CVCM：CVCM 极低，最大程度减少真空腔体有机析出污染，对光学元器件、晶圆友好
- 超滤洁净低颗粒：多级超滤去除微颗粒，降低半导体工艺腔体颗粒缺陷风险。
- 强化学耐受性：耐受等离子、腐蚀性工艺气体、氧化剂，油品不分解劣化。
- 专用复配基础油：用于调配 XYC‑TORR 6370EL 重载长寿命 PFPE 真空润滑脂，也可直接用于部件润滑。
典型应用场景
- 半导体设备：超高真空重载阀门、密封预润滑，深冷温度循环工况刻蚀、沉积设备。
- 航天、空间环境模拟舱，需要‑90℃极低温启动、ASTM‑E595 标准的重载机构部件。
- 镀膜、电子束设备，禁止油气析出污染光学元器件。
- 作为基础油，生产 TORR‑6370EL 重载长寿命真空润滑脂。
包装与施工
- 常规包装：100ml、500ml、1L 金属密封瓶；可提供试样装
- 使用方式：薄涂、滴油、密封面预浸润；仅作液态润滑油；不能直接当润滑脂使用，制脂需要添加超细 PTFE 微粉。
- 配套资料：TDS 技术数据表、MSDS 安全说明书，可提供批次 ASTM‑E595 真空出气报告。
使用重要提示
- 严禁与矿物油、合成油、非氟油品混用；更换介质必须彻底清洗腔体、管路、密封件。
- 密封避光储存，严防水汽、灰尘杂质进入，杂质会直接劣化真空与出气性能。
- 粘度偏高，不适合高速大流量循环泵，多用于静态、低速、密封、阀门、重载机构部位。
